国立研究開発法人 産業技術総合研究所
次世代弾性波フィルタ※36に向け た窒化物圧電体※37※38の薄膜構 造の高度化 — Track: Type S. PI: 上原 雅人. 本研究では、過飽和固溶体※39窒化物※40について、スピノーダル 分解※41を利用した組織制御により、トレードオフである高い電気 機械結合係数※42と機械品質係数※43を併せ持った次世代弾性波 フィルタに資する新型圧電材料を開発する。